2026年5月11日讯 — 中芯国际（SMIC）正式宣布其 3nm 级别制程（N+3）量产线在深圳工厂投产，这是中国大陆首次具备等效 3nm 芯片的自主生产能力。该制程采用 FinFlex 技术和自研 SAQP 多重曝光方案，在未使用 EUV 光刻机的情况下实现 3nm 级线宽，良率已达 85%。首批产品为国产 AI 训练芯片和服务器处理器，预计年内出货。